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PSM-1000超長工作距離金相顯微鏡

產(chǎn)品簡介

PSM-1000工業(yè)顯微鏡采用全新的一體化設(shè)計(jì),具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,造型新穎,使用方便,并具有豐富的擴(kuò)展功能,可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-09-09
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2064

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PSM-1000工業(yè)顯微鏡采用全新的一體化設(shè)計(jì),具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,造型新穎,使用方便,并具有豐富的擴(kuò)展功能,可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

 

描述

 人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動,調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。
 管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR2X 管鏡,三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換,切換簡單、方便。其中1X NUV355nm532nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,1X NIR532nm1064nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,當(dāng)使用這3個(gè)波長的激光器時(shí),可以得到更好的激光透過率。
 光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為0100,此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路,提高了激光效率;當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為5050,此時(shí)即可用雙目頭觀察,同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
  偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進(jìn)行偏光觀察。
 調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動舒適,工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)大可承載45(20.4Kg),確保安裝激光器和CCD攝像頭后,仍然能夠正常工作。
 轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器,使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙,可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
 物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡,提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請參照APO物鏡樣本。
  數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像接口上,組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
 照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),光源采用外置冷光源。長達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)PSM-1000帶來更自由的操作空間。
 探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,進(jìn)行硅片的測試。
 激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷,雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,并提供補(bǔ)償墊片。無需的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
:在安裝和使用激光器之前,請您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問題,麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對此概不負(fù)責(zé)。
 

 

目鏡

 WF10X/24,視場直徑 24mm,獨(dú)立矯正色差

雙目頭

 瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm

上主體

 分光比為50:50或0:100

管鏡

 1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS

轉(zhuǎn)換器

 4孔,中心可調(diào)

物鏡

 長工作距離或超長工作距離; 無限遠(yuǎn)平場復(fù)消色差; 齊焦距離: 95mm; 連接螺紋: M26X1/36"(0.706); 齊焦機(jī)構(gòu)(可選)

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

 調(diào)焦行程: 52mm; 粗動手輪4mm/轉(zhuǎn);微動手輪0.1mm/轉(zhuǎn); 微動手輪 1μm/格; 大承載重量: 45磅(20.4Kg)

照明系統(tǒng)

 同軸垂直照明,可變孔徑光欄( 0.8~ 6)

冷光源

 輸入電壓: 110V或220V; 150W/21V; 鹵素?zé)暨b控器(可選)

移動載物臺

 XY行程: 75X50mm

人機(jī)工程頭部

 轉(zhuǎn)動范圍3 -30

 

PSM-1000配置表 

名稱  物料編號 PSM-1000 PSM-1000S PSM-1000E 數(shù)量
目鏡WF10X/24(含護(hù)眼罩)  SG02S0173 ● ● ● 2只
目鏡WF15X/16  SG02T0316 ○ ○ ○ 2只
目鏡WF20X/12  SG02T0317 ○ ○ ○ 2只
鉸鏈?zhǔn)诫p目  SP100243 ● ● /1
鉸鏈?zhǔn)诫p目  SP100243A / / ●1
上主體組  SW0199BD ● ● /1
變角度上主體組  AP9977730 / / ●1
下主體組  SW0199BE ● / ●1
下主體組(帶3個(gè)偏光插孔)  SW0199Y1 / ● /1
四孔轉(zhuǎn)換器組  SW011715A ● ● ●1
調(diào)焦組  SW0199BG ● ● ●1
底座組  SW010282A ● ● ●1
工業(yè)顯微鏡移動式載物臺  SW010338P ● ● ●1
長工作距離復(fù)消色差物鏡* ELWD2X SG01S102C3 ○ ○ ○1
 ELWD5X SG01S162C3  ○ ○ ○1
 ELWD10X SG01S022C3  ○ ○ ○1
 ELWD20X SG01S032C3  ○ ○ ○1
 ELWD50X SG01S122C3  ○ ○ ○1
 ELWD100X SG01S062C3  ○ ○ ○1
超長工作距離復(fù)消色差物鏡* ULWD50X SG01S122C5  ○ ○ ○1
 ULWD100X SG01S062C5  ○ ○ ○1
可調(diào)焦長工作距離復(fù)消色差物鏡* ELWD2X SG01S102C4  ○ ○ ○1
 ELWD5X SG01S162C4  ○ ○ ○1
 ELWD10X SG01S022C4  ○ ○ ○1
 ELWD20X SG01S032C4  ○ ○ ○1
 ELWD50X SG01S122C4  ○ ○ ○1
 ELWD100X SG01S062C4  ○ ○ ○1
可調(diào)焦超長工作距離復(fù)消色差物鏡* ULWD50X SG01S122C7  ○ ○ ○1
 ULWD100X SG01S062C7  ○ ○ ○1
0.5X攝像接筒組(接2/3"CCD)  SP100363  ○ ○ ○1
0.4X攝像接筒組(接1/2"CCD)   SP100365B  ○ ○ ○1
1X攝像接筒組(接2/3"CCD)  SP100386  ○ ○ ○1
MOTICAM480/1000/2000/3000/5000及配套軟件   ○ ○ ○1
檢偏插片  SW01991Z ○ ○ ○1
起偏插片  SW01992B ○ / ○1
起偏插片(可旋轉(zhuǎn))  SW01992BA  / ○ /1
中間插片(可旋轉(zhuǎn))  SW01993H  / ○ /1
調(diào)中鑰匙  SW0199BH ● ● ●2
墊圈(安裝激光濾色片時(shí)使用)  SW018880 ● ● ●2
十字槽盤頭螺釘 M3X10(安裝激光濾色片時(shí)使用)  SS0120594 ● ● ●3
轉(zhuǎn)接環(huán)(數(shù)量根據(jù)訂單)  SW011840 ○ ○ ○ 1~4
使用手冊(中文,PSM1000機(jī))  SP010980 ● ● ●1
保修卡  SP160004 ● ● ●1
物鏡顏色標(biāo)貼(含灰、紅、黃、綠、藍(lán)、白)  ST7033 ● ● ● 1套
合格證  SP150001 ● ● ●1
工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為直頭)  SP990073A  ○ ○ ○1
工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為彎頭)  SP990073B  ○ ○ ○1
MITUTOYO光纖接頭 (MITUTOYO型光纖)  SP99008A ○ ○ ○1
MLC-150C冷光源  SP120070 ○ ○ ○1
注:帶" * "號的為外購件, "●"表示標(biāo)配,"○"表示選配,PSM-1000E暫不供貨。

 

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